半導体産業向けドライブシステム

デジタル化の基盤

半導体業界の産業システムは、1秒以下のサイクル時間で動作します。このため、これらのシステムには高ダイナミクスと高い精度が不可欠です。maxonは、ウェハーやマイクロチップの生産において最大のパフォーマンスを発揮する、すぐに接続できるドライブシステムを開発および製造しています。 

ドライブモジュール

生産性の向上: チップ生産工程に導入されたロボット

maxonドライブモジュールは、ウェハー製造、フロントエンド/バックエンドからピックアンドプレースアプリケーションに至るまで、さまざまなシステムで使用されています。ここで、高い出力密度、信頼性、低い質量慣性モーメントを発揮するmaxonドライブシステムが重要な役割を果たし、非常に短いサイクルタイムが実現されます。  

非常にコンパクトなフォームファクタで高出力密度

高効率

低電磁障害

クリーンルームおよび真空用途向けのソリューション

優れた位置制御性能を実現する高度な制御

世界を動かすマイクロチップ

モノのインターネット、無線通信、人工知能により、半導体業界の生産量は年々増加しており、その一方でチップの構造サイズはますます小さくなっています。効率的で大量の製造プロセスを実現するには、複雑な機械や設備が必要です。

弊社は、半導体市場のさまざまな用途向けに、毎年約20万ユニットのmaxonドライブテクノロジーを生産しています。この傾向はますます高まっています。 

半導体業界向けmaxonドライブソリューション

マイクロアセンブリでの迅速かつクリーンなハンドリング

正確な位置制御を可能にするマイクロリニアアクチュエータ

maxonは、特に半導体産業企業向けにマイクロリニアドライブを開発・製造してきました。  

 

ECX SPEEDシリーズの直径8ミリメートルの BLDCモータは、最大12万 rpmの回転速度に最適化されており、非常に高速でスムーズに動作します。maxonはこのモータと、高出力伝達を備えたmaxon GPXプラネタリギアヘッドと、1つのハウジングに集積回路を備えた3チャンネルENX 8 EASYエンコーダとを組み合わせています。ストロークは5 mmで、分解能は9 μmです。さらに、ユニットにはセラミックスピンドルが装備されており、長寿命が保証されます。 

  • 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mmの移動量を備えた特殊スレッジコンセプト
  • スピンドルピッチ: 0.4 mm
  • 最大分解能 8.9 μm
  • 速度: 1~5 mm/s
  • 単一方向再現性: 0.22 μm
  • 重量 > 36 g
  • 寸法: 50.3 x 11.5 x 10.5 mm
  • Flexprintケーブルまたはテフロンケーブル装備 (フラットまたはシングルスリット)

フレームレスダイレクトドライブ: EC-i 275 Frameless High Torque

maxonフレームレスモータは、最適なトルク密度、コンパクトな設計、および高い過負荷能力が特徴です。内径はお客様に合わせてカスタマイズ可能です。このモータはクリーンルーム環境で動作させることができ、エアベアリング用途に適しています。 

  • 外径: 275 mm
  • 内径: 172 mm
  • 定格トルク: 17 Nm
  • 静止トルク: 63 Nm
  • 主要用途: ケーブルブッシュ付き位置決め/回転インデックステーブル。 高トルク・低速・低コギングトルクのダイレクトドライブ

maxon ECX Flat

魅力的な価格/性能比のブラシレスモータシリーズは、最高のトルク密度を実現するように最適化されており、全長が短いため限られたスペースにも適しています。    

  • オンラインでカスタマイズ可能です。また、11日以内に発送いたします
  • 新しい巻線技術とセグメント化された磁石による性能の向上
  • 一体型回転数制御装備(ESCON-C)
  • 統合型誘導エンコーダ装備 (MILE)
  • アクティブ冷却用インペラ(オプション)

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半導体業界向けmaxonドライブ

オランダにある私たちの特殊な生産拠点について詳しく知り、どのmaxon高精度メカトロニクス駆動システムがウェーハのリフト、エッチング、研磨、ラッピング、ピックアンドプレースなどの工程で活用されているかをご覧ください。

Corporate Blog

サクセスストーリー

maxon のドライブソリューションは、数多くの用途において、精度、クリーンルームへの適合性、半導体産業規模に対する高い要件を満たしています。
ブログ
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真空技術工場

半導体産業では、清浄度と精度が絶対不可欠です。このため、スイスの真空スペシャリストVAT社は、マクソンと共にウェハ用ドライブシステムを開発しました。
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ポケットサイズのデルタロボット

マイクロアセンブリのタスクは今日では多岐に渡り、駆動技術にはますます多くの課題が課せられています。マイクロコンポーネントとマイクロシステムの小型化が進む一方で、巨視的次元の生産システムの発展は遅れがちです。市場に革命を起こしたのは、西スイスのAsyril社のデルタロボットの製品群。強力なマクソンモータが、高精度かつダイナミックな動きを生み出します。
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クリーンルーム

半導体システムの製造

半導体産業向けのmaxonドライブシステムは、自社のクリーンルームで製造されています。開発では耐久性が重視されており、チタンからテクニカルセラミックに至るまでのハイエンド素材を使用しています。  

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アラン・コドゥレー博士

Asyrils社創設者

「質量慣性モーメントを小さくするためには、すべてのコンポーネントはできる限り精密に、しかも重量を抑えて作られます。選択されたデルタコンフィギュレーションの大きな利点は、maxonモータがメカニズムの運動を生み出すものの、モータ自身は動かないという点にあります。そのかわりにモータは支持フレームに固定されて、運動を直接構造に伝えます」。 

よくある質問

  • maxonはシステム一式を構築して提供することができますか?

    はい。maxonでは、DCモータ、センサ、位置および多軸コントローラ、フレームレスダイレクトドライブソリューションなど、すぐに提供可能な標準ソリューションを入手することができます。さらに、半導体産業向けにカスタマイズ仕様のソリューションを開発および製造します。  

  • maxonはドライブシステム全体(デバイス内の動作)の設計と製造をサポートすることができますか?

    はい。 maxonは、長年の経験により、並進運動全体の設計や、コストや性能についてデバイスの最適化を支援することができます。  

  • maxonコントローラを使用する利点は何ですか?

    maxonコントローラでは、コアレスモータに必要なインダクタンスがすでに組み込まれています。EPOSおよびESCONソフトウェアには、maxonドライブを完全に自動で調整できるという利点もあります。このため、ドライブシステムがコントローラに最適に適合します。シンプルなGUIによって、モータで測定を行い、微調整することが可能となっています。  

  • maxonシステムをアプリケーションの環境条件に合わせて調整することはできますか?

    はい。 maxonは、半導体産業で適用される条件(真空、クリーンルームなど)に関して豊富な経験を有しています。 

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