Aandrijfsystemen voor de halfgeleiderindustrie

De grondstof van digitalisering.

Industriële installaties in de halfgeleiderindustrie werken met cyclustijden van één seconde en minder. Hoge dynamiek en precisie zijn daarom cruciaal voor succes. We ontwikkelen en produceren kant-en-klare aandrijfsystemen voor maximale prestaties bij de productie van wafers en microchips. 

aandrijfmodules

Voor meer productiviteit: Robotica in de chipfabricage.

Aandrijfmodules van maxon worden gebruikt in waferproductie, front-/back-end tot pick-and-place-toepassingen. Hier leiden de hoge vermogensdichtheid, de betrouwbaarheid en het lage massatraagheid van de maxon aandrijfsystemen tot succes en maken hiermee zeer lage cyclustijden mogelijk.  

Hoge vermogensdichtheid in een zeer compacte vormfactor

Hoger rendement

Geringe magnetische storingen

Oplossingen voor cleanroom- en vacuümtoepassingen

Geavanceerde besturing voor uitstekende positioneringsprestaties

Microchips bewegen de wereld.

The Internet of Things, draadloze communicatie en kunstmatige intelligentie zorgen ervoor dat productiecijfers in de halfgeleiderindustrie jaarlijks stijgen, terwijl de structuurgroottes van de chips steeds kleiner worden. Voor een efficiënt productieproces op hoog volume zijn complexe machines en apparaten nodig.

Jaarlijks produceren wij ongeveer 200.000 aandrijfsystemen voor verschillende toepassingen in de halfgeleidermarkt. Met een stijgende lijn. 

aandrijfoplossingen voor de halfgeleiderindustrie

Snelle en schone handling in de micromontage.

Micro lineaire aandrijving voor nauwkeurige positionering

maxon heeft microlineaire aandrijvingen speciaal voor halfgeleiderklanten ontwikkeld en geproduceerd.  

 

De BLDC-motor uit de ECX-SPEED-serie met een diameter van 8 mm is geoptimaliseerd voor hoge toerentallen tot 120.000 min-1, is extreem snel en loopt heel soepel. We combineren hem met de maxon GPX planetaire aandrijving met hoge belasting en de 3-kanaals encoder ENX 8 EASY met geïntegreerde schakeling in één behuizing. De slag bedraagt 5 mm met een resolutie van 9 μm. Bovendien zijn de units uitgerust met keramische spindels, die een lange levensduur garanderen. 

  • Bijzonder sledeconcept met slag van 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • Spindelhelling: 0,4 mm
  • Resolutie tot 8,9 μm
  • Snelheid: 1 t/m 5 mm/s
  • Reproduceerbaarheid unidirectioneel: 0,22 μm
  • Gewicht > 36 g
  • Afmetingen: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Flexprint- of teflonkabel beschikbaar (ofwel flatband of afzonderlijke draden)

Frameless directe aandrijving: EC-i 275 Frameless High Torque

maxon Frameless-motoren bieden een optimale koppeldichtheid bij een minimaal volume en een hoge overbelastingscapaciteit. De binnendiameter kan op maat worden aangepast. De motor kan worden gebruikt in cleanroom-omgevingen en is geschikt voor luchtgelagerde toepassingen. 

  • Buitendiameter: 275 mm
  • Binnendiameter: 172 mm
  • Nominaal koppel: 17 Nm
  • Stilstandkoppel: 63 Nm
  • Typische toepassingen: Positionerings-/indexeertafel met kabeldoorvoer; directe aandrijving met hoog koppel/laag toerental en laag torque ripple

maxon ECX flat

De borstelloze motorenreeks met een aantrekkelijke prijs-/prestatieverhouding is geoptimaliseerd voor de hoogste koppeldichtheid en is dankzij de korte bouwlengte geschikt voor in een beperkte ruimte.  

  • Online te configureren en binnen 11 dagen leverbaar
  • Hogere prestaties door nieuwe wikkeltechniek en gesegmenteerde magneten
  • Geïntegreerde snelheidsregelaar beschikbaar (ESCON-C)
  • Geïntegreerde inductieve encoder beschikbaar (MILE)
  • Ventilator voor actieve koeling (optioneel)

Naar de shop

aandrijvingen voor de halfgeleiderindustrie

Brochure downloaden

Krijg inzicht in onze gespecialiseerde productielocatie in Nederland en ontdek de zeer nauwkeurige mechatronische aandrijfsystemen van maxon die met succes worden gebruikt bij processen als waferlifting, etsen, polijsten en leppen en pick-and-place.   

Corporate Blog

Cases

Aandrijfoplossingen van maxon voldoen aan de hoge eisen van de halfgeleiderindustrie wat betreft precisie, geschiktheid voor cleanrooms en omvang. Ze zijn geschikt voor het gebruik in talrijke toepassingen binnen deze industrietak.
Naar de blog
GettyImages-1169088875maxon Story

In de vacuümwerkplaats

In de halfgeleiderindustrie zijn onberispelijkheid en precisie essentieel. De Zwitserse vacuümspecialist VAT heeft daarom in samenwerking met maxon een aandrijfsysteem voor wafers ontwikkeld.
Lees verder
Pocket Delta_Asyril_pick&place_1maxon Story

Delta-robots in pocketformaat

In de aandrijftechniek zorgt micromontage voor steeds grotere uitdagingen. Terwijl micro-componenten en -systemen steeds kleiner worden, loopt de ontwikkeling van productiesystemen in macroscopische afmetingen vaak achter. Een Zwitserse onderneming heeft een complete productfamilie revolutionaire Delta-robots op de markt gebracht. Sterke maxon motoren zorgen voor uiterst precieze en dynamische bewegingen.
Lees verder
Naar de blog
maxon0472_DL_13cm9cm

cleanroom

productie van halfgeleider-systemen

maxon aandrijvingen voor de halfgeleiderindustrie worden in onze in-house cleanroom geproduceerd. De ontwikkeling is gericht op een lange levensduur, waarbij gebruik wordt gemaakt van high-end materialen, van titanium tot technisch keramiek.  

Lees verder

Dr. Alain Codourey

Oprichter van Asyrils

“Voor een laag massatraagheidsmoment zijn alle componenten filigraan en gewichtsbesparend uitgevoerd. Een groot voordeel van de gekozen Delta-configuratie is dat de maxon motoren weliswaar voor de beweging van de kinematica zorgen, maar zelf niet worden bewogen. In plaats daarvan zijn deze bevestigd aan het ondersteuningsframe en dragen ze de beweging rechtstreeks over aan de structuur. “ 

Veel gestelde vragen

  • Kan maxon complete systemen bouwen en leveren?

    Ja. Bij maxon heeft u toegang tot direct beschikbare standaardoplossingen zoals gelijkstroommotoren, sensoren, positie- en meerassige besturingen en directe frameless aandrijfoplossingen. Daarnaast ontwikkelen en produceren wij oplossingen op maat voor de halfgeleiderindustrie. 

  • Kan maxon bij het ontwerp en de productie van complete aandrijfsystemen (bewegingen in het apparaat) ondersteuning bieden?

    Zeker. Dankzij de jarenlange ervaring kan maxon volledige translatie bewegingen ondersteunen, waardoor het mogelijk wordt om apparaten te optimaliseren op het gebied van kosten en prestaties.

  • Welke voordelen biedt het gebruik van een maxon controller?

    Bij maxon controllers is de voor ijzerloze motoren vereiste inductiviteit al geïntegreerd. Bovendien biedt de EPOS- en ESCON-software het voordeel dat maxon aandrijvingen volledig automatisch kunnen worden getuned. Zo is de controller zo goed mogelijk op de aandrijving afgestemd. De eenvoudige GUI maakt het mogelijk om metingen en fine-tuning op de motor uit te voeren.  

  • Kunnen de systemen van maxon worden aangepast aan de omgevingsomstandigheden van de toepassingen?

    Ja. maxon heeft veel ervaring met de omstandigheden in de halfgeleiderindustrie (bijvoorbeeld vacuüm en clean room). 

Contact

Hoe kunnen we u helpen?

Onze experts voor de halfgeleiderindustrie staan u graag terzijde.