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Sistemi di azionamento per l'industria dei semiconduttori

La materia prima della digitalizzazione.

Gli impianti industriali del settore dei semiconduttori lavorano con tempi di ciclo anche inferiori al secondo. Elevata dinamica e precisione sono decisivi per il successo. Sviluppiamo e realizziamo sistemi di azionamento chiavi in mano per prestazioni massime nella produzione di wafer e microchip. 

Moduli di azionamento

Per una maggiore produttività: robot per la produzione di chip.

I moduli di azionamento maxon vengono impiegati per la produzione di wafer e le applicazioni front/back end e pick & place. Qui l'elevata densità di potenza, l'affidabilità e il momento di inerzia di massa ridotto degli azionamenti maxon contribuiscono in maniera decisiva al successo dell'applicazione e permettono tempi di ciclo particolarmente rapidi.  

  • Elevata densità di potenza e dimensioni particolarmente compatte
  • Elevato rendimento
  • Interferenze elettromagnetiche ridotte
  • Soluzioni per le applicazioni in camera bianca e sotto vuoto
  • Controllo avanzato per un posizionamento eccellente

I microchip muovono in mondo.

Ogni anno i progressi dell'internet delle cose, della comunicazione wireless e dell'intelligenza artificiale comportano un aumento dei quantitativi prodotti del settore dei semiconduttori, mentre le dimensioni strutturali dei chip sono sempre minori. Per un processo produttivo efficiente di quantitativi elevati sono necessari macchinari e dispositivi complessi.

Ogni anno produciamo circa 200.000 unità tecnologiche di azionamento maxon per svariate applicazioni nel settore dei semiconduttori. E il numero è destinato a crescere. 

Soluzioni di azionamento maxon per l'industria dei semiconduttori

Manipolazione rapida e pulita per il micromontaggio.

Microazionamento lineare per un posizionamento preciso

maxon ha sviluppato e prodotto i microazionamenti lineari appositamente per il mercato dei semiconduttori.  

 

Il motore BLDC della serie ECX SPEED con diametro da 8 millimetri è ottimizzato per velocità elevate fino a 120.000 rpm e presenta caratteristiche di velocità e silenziosità estreme. Viene combinato con il riduttore planetario maxon GPX con trasmissione della potenza elevata ed encoder a 3 canali ENX 8 EASY con circuito integrato in un unico alloggiamento. Presenta una corsa di 5 mm con risoluzione 9 μm. Inoltre le unità sono dotate di viti senza fine in ceramica che garantiscono un'elevata durata di servizio. 

  • Concetto con slitta speciale con corse di traslazione 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • Passo della vite senza vite: 0,4 mm
  • Risoluzione fino a 8,9 μm
  • Velocità: Da 1 a 5 mm/s
  • Riproducibilità unidirezionale: 0,22 μm
  • Peso > 36 g
  • Dimensioni: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Cavo Flexprint o in teflon disponibile (nastro piatto o trefoli singoli)

Azionamento diretto frameless: EC-i 275 Frameless High Torque

I motori frameless maxon offrono il massimo in fatto di densità di coppia e volume ridotto ed elevata capacità di sovraccarico. Il diametro interno può essere customizzato. Il motore può essere utilizzato in camera bianca ed è adatto per le applicazioni con cuscinetto d'aria. 

  • Diametro esterno: 275 mm
  • Diametro interno: 172 mm
  • Coppia nominale: 17 Nm
  • Coppia da fermo: 63 Nm
  • Applicazioni tipiche: Tavola rotante/per posizionamento con passacavo: azionamento diretto con coppia elevata/velocità ridotta e cogging ridotto

maxon ECX flat

La serie di motori brushless con rapporto qualità/prezzo eccellente è stata ottimizzata per offrire la massima densità di coppia e, grazie alla lunghezza ridotta, è adatta per gli spazi ristretti.  

  • Configurabili online e pronti per la consegna entro massimo 11 giorni lavorativi
  • Maggiore potenza grazie alla nuova tecnologia di avvolgimento e ai magneti a segmenti
  • Regolatore di velocità integrato disponibile (ESCON-C)
  • Encoder induttivo integrato disponibile (MILE)
  • Girante per il raffreddamento attivo (opzionale)
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Azionamenti maxon per l'industria dei semiconduttori

Scarica adesso la brochure

Date un'occhiata al nostro stabilimento di produzione specializzato nei Paesi Bassi e scoprite quali sistemi di azionamento meccatronici di alta precisione maxon vengono utilizzati con successo nei processi di sollevamento wafer, incisione, lucidatura, lappatura e pick & place.   

Corporate Blog

Storie di successo

Le soluzioni di successo maxon soddisfano i requisiti elevati di precisione, idoneità all'impiego in camera bianca e dimensioni per svariate applicazioni dell'industria dei semiconduttori.
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Nell'officina del vuoto

Pulizia e precisione, nell'industria dei semiconduttori, sono indispensabili. Lo specialista svizzero del vuoto VAT ha quindi sviluppato insieme a maxon un sistema di azionamento per wafer.
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Robot Delta formato tascabile

Al giorno d'oggi, le più svariate operazioni di micromontaggio rappresentano sfide sempre più difficili per la tecnica di motorizzazione. Mentre i microcomponenti e i sistemi diventano sempre più piccoli, la tecnologia dei sistemi di produzione di dimensioni maggiori viene spesso superata. Una società della Svizzera occidentale ha rivoluzionato il mercato con un'intera gamma di robot Delta. Potenti motori maxon garantiscono movimenti estremamente precisi e rapidi.
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Camera bianca maxon

Realizzazione di sistemi per semiconduttori

Gli azionamenti maxon per l'industria dei semiconduttori vengono prodotti nella nostra camera bianca in house. Lo sviluppo è incentrato sull'elevata durata di servizio e sull'utilizzo di materiali high-end, dal titanio alla ceramica tecnica.   

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Dr. Alain Codourey

fondatore della Asyrils

"Per ottenere un'inerzia di massa più bassa possibile, tutti i componenti sono delicati e leggeri. Un ottimo vantaggio della configurazione Delta individuata sta nel fatto che, nonostante siano responsabili del movimento degli elementi cinematici, i motori maxon stessi non si muovono, perché sono fissati all'intelaiatura di sostegno, trasmettendo il movimento direttamente alla struttura." 

FAQ

  • maxon è in grado di costruire e fornire sistemi completi?

    Sì. maxon è in grado di fornire soluzioni standard disponibili da subito, come ad esempio motori a corrente continua, sensori, comandi di posizionamento e multiasse e soluzioni di azionamento diretto frameless. Inoltre sviluppiamo e produciamo soluzioni customizzate per l'industria dei semiconduttori  

  • maxon può supportare interi sistemi di azionamento (movimenti all'interno dei dispositivi) in fase di progettazione e produzione?

    Sì. Grazie all'esperienza pluriennale maxon è in grado di supportare le traslazioni in fase di progettazione per ottimizzare le apparecchiature in termini di costi e prestazioni.  

  • Quali sono i vantaggi legati all'utilizzo di un'unità di comando maxon?

    Nel caso delle unità di comando maxon, l'induttanza necessaria per i motori ironless è già integrata. Inoltre, grazie alla combinazione EPOS e software ESCON, è possibile eseguire la regolazione di precisione degli azionamenti maxon in maniera completamente automatizzata. In questo modo azionamento e unità di comando sono perfettamente adattati tra loro. La GUI semplice permette di eseguire misurazioni e regolazioni di precisione del motore.   

  • I sistemi maxon possono essere adattati alle condizioni ambientali delle applicazioni?

    Sì, maxon vanta un'ottima esperienza con le condizioni presenti nell'industria dei semiconduttori (ad es. vuoto e camere bianche). 

Contatti

Come possiamo esservi d'aiuto?

I nostri esperti per l'industria dei semiconduttori sono a vostra disposizione. 

Le nostre soluzioni per l'automazione industriale e la robotica.

Sviluppiamo, costruiamo e forniamo tecniche di azionamento estremamente efficienti per aziende leader a livello mondiale. Dalle soluzioni standard alle semplici modifiche fino ai progetti sviluppati ex novo dai clienti, tutto viene offerto da un unico fornitore: maxon.

Automazione di laboratorio

Per la biologia molecolare, la chimica analitica e la medicina sviluppiamo azionamenti per la manipolazione automatizzata dei liquidi, i dispositivi per l'analisi del sangue, il sequenziamento del DNA e molto altro.

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Industria petrolifera e del gas

I robusti sistemi di azionamento di maxon vengono impiegati in svariate applicazioni di trivellazione profonda, comando idraulico delle valvole o nei processi MWD in condizioni estreme.

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Utensili elettrici

Dinamici, leggeri ed efficienti: il rendimento superiore al 90% degli azionamenti maxon soddisfa i requisiti elevati del settore degli utensili elettrici.

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Tecniche di misurazione e controllo

Il prodotto ideale praticamente per qualsiasi applicazione di misurazione: dalla misurazione altamente precisa nell'industria ai rilievi architettonici e topografici.

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Sistemi di sicurezza

Grazie al posizionamento rapido e preciso e l'elevata densità di potenza gli azionamenti maxon sono perfetti per i sistemi di chiusura, le porte di sicurezza e le telecamere di videosorveglianza.

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Sistemi ottici

Dai microscopi ai telescopi spaziali giganti: i sistemi ottici impiegati ad esempio nella tecnologia laser, la machine vision o i sensori, devono soddisfare requisiti estremamente complessi e necessitano di azionamenti in grado di eseguire qualsiasi movimento con la massima precisione.

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