Sistemas de acionamento para a indústria de semicondutores

A matéria-prima da digitalização.

As instalações industriais da indústria de semicondutores funcionam com tempos de ciclo de um segundo ou menos. Uma elevada dinâmica e precisão são, por isso, cruciais para o sucesso. Desenvolvemos e produzimos sistemas de acionamento “chave na mão” para o máximo rendimento na produção de wafers e microchips. 

Módulos de acionamento

Para uma maior produtividade: robótica na produção de chips.

Os módulos de acionamento da maxon são utilizados na produção de wafers, front/back end e aplicações pick-and-place. Aqui, a elevada densidade de potência, a fiabilidade e o baixo momento de inércia de massa dos sistemas de acionamento maxon conduzem ao sucesso e permitem tempos de ciclo extremamente reduzidos.  

Elevada densidade de potência num fator de forma extremamente compacto

Alto rendimento

Baixas interferências magnéticas

Soluções para aplicações de vácuo e salas limpas

Comando avançado para um excelente desempenho de posicionamento

Os microchips movem o mundo.

A Internet das Coisas, a comunicação sem fios e a inteligência artificial garantem que os números de produção na indústria de semicondutores aumentam todos os anos, enquanto as dimensões estruturais dos chips se tornam cada vez mais reduzidas. Para um processo de produção eficiente e em grandes volumes, são necessárias máquinas e aparelhos complexos.

Todos os anos, produzimos cerca de 200 000 unidades com tecnologia de acionamento maxon, para diversas aplicações no mercado de semicondutores. E a tendência é crescente. 

Soluções de acionamento para a indústria de semicondutores

Manuseamento rápido e preciso na micromontagem.

Microacionamento linear para um posicionamento preciso

A maxon desenvolveu e produziu microacionamentos lineares específicos para clientes da indústria de semicondutores.  

 

O motor BLDC da gama ECX-SPEED, com um diâmetro de 8 milímetros, está otimizado para altas velocidades de rotação, de até 120 000 min-1, é extremamente rápido e silencioso. Combinamo-lo com o redutor planetário maxon GPX com elevada transmissão de potência, assim como com o encoder de 3 canais ENX 8 EASY com circuito integrado, numa única carcaça. O curso é de 5 mm, com uma resolução de 9 μm. Além disso, as unidades estão equipadas com fusos cerâmicos que asseguram uma longa vida útil. 

  • Conceito de carro especial com percursos de 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • Passo de fuso: 0,4 mm
  • Resolução de até 8,9 μm
  • Velocidade: 1 até 5 mm/s
  • Reprodutibilidade unidirecional: 0,22 μm
  • Peso > 36 g
  • Dimensões: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Cabo Flexprint ou Teflon disponível (fita plana ou cabos torcidos individuais)

Acionamento direto frameless: EC-i 275 Frameless High Torque

Os motores frameless maxon oferecem proporção ideal de densidade de binário com um volume mínimo, assim como uma elevada capacidade de sobrecarga. O diâmetro interno pode ser personalizado. O motor pode ser operado em ambientes de sala limpa e é adequado para aplicações com suspensão pneumática. 

  • Diâmetro externo: 275 mm
  • Diâmetro interno: 172 mm
  • Binário nominal: 17 Nm
  • Binário de paragem: 63 Nm
  • Aplicações típicas: Mesa rotativa/de posicionamento com passagem de cabo; acionamento direto com elevado binário/baixa velocidade de rotação e baixo binário de retenção

maxon ECX Flat

A linha de motores sem escovas com uma relação preço/desempenho atrativa está otimizada para a densidade de binário máxima e, graças ao seu comprimento total reduzido, é adequada para espaços limitados.  

  • Pode ser configurada online e é entregue no prazo de 11 dias
  • Melhor desempenho devido à nova tecnologia de enrolamento e ímanes segmentados
  • Regulador de velocidade de rotação integrado disponível (ESCON-C)
  • Codificador rotativo indutivo integrado disponível (MILE)
  • Roda livre para refrigeração ativa (opcional)

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Acionamentos para a indústria de semicondutores

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Conheça as nossas unidades de produção especializadas nos Países Baixos e descubra que sistemas de acionamento mecatrónicos de alta precisão da maxon são utilizados com sucesso em processos como a elevação de wafers, gravação, polimento e esmerilagem, assim como pick-and-place.   

Corporate Blog

Histórias de sucesso

As soluções de acionamento maxon satisfazem os elevados requisitos de precisão, aptidão para salas limpas e tamanho da indústria de semicondutores, em inúmeras aplicações.
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Na oficina de vácuo

Na indústria de semicondutores, a limpeza e a precisão são absolutamente essenciais. Portanto, o especialista suíço em vácuo VAT desenvolveu um sistema de acionamento para wafers juntamente com a maxon.
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Robôs Delta em tamanho de bolso

Hoje em dia diversas operações de micromontagem colocam desafios cada vez maiores à tecnologia de acionamento. Se por um lado, os componentes microeletrónicos e os sistemas miniaturizados se vão tornando cada vez mais pequenos, o desenvolvimento dos sistemas de produção em dimensões macroscópicas não acompanham este processo. Uma companhia do oeste da Suíça revolucionou o mercado com uma família de Robôs Delta. Poderosos motores maxon asseguram movimentos dinâmicos e com alta precisão.
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Sala limpa

Produção de sistemas de semicondutores

Os acionamentos maxon para a indústria de semicondutores são produzidos na nossa sala limpa interna. O desenvolvimento está orientado para uma longa vida útil, utilizando materiais de alta qualidade que vão desde o titânio até à cerâmica técnica.  

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Dr. Alain Codourey

Fundador da Asyrils

“Para assegurar um baixo momento de inércia de massa, todos os componentes foram concebidos de modo a serem delicados e a ter o menor peso possível. Uma vantagem significativa da configuração Delta selecionada é a de que os motores maxon asseguram a movimentação da cinemática sem terem eles próprios de se movimentarem. Em vez disso, estão fixados à estrutura de apoio e transmitem o movimento diretamente à estrutura.” 

FAQs

  • A maxon tem a capacidade de construir e entregar sistemas completos?

    Sim. Na maxon, tem acesso a soluções padrão prontamente disponíveis, tais como motores de corrente contínua, sensores, comandos multieixos e de posicionamento, assim como soluções de acionamento direto frameless. Além disso, desenvolvemos e produzimos soluções personalizadas para a indústria de semicondutores. 

  • A maxon pode prestar apoio na conceção e produção de sistemas de acionamento completos (movimentos no aparelho)?

    Sim. Graças aos longos anos de experiência, a maxon é capaz de prestar apoio na conceção de movimentos translativos completos e ajudar também a otimizar os aparelhos em termos de custo ou desempenho.  

  • Quais são as vantagens de utilizar um controlador maxon?

    Com os controladores maxon, a indutância requerida para os motores sem ferro já está integrada. Além disso, o software EPOS e ESCON oferece a vantagem de os acionamentos maxon poderem ser ajustados de forma totalmente automática. Isto significa que o acionamento fica perfeitamente adaptado ao controlador. A GUI simples faz com que seja possível realizar medições e ajustes finos no motor.  

  • Os sistemas da maxon podem ser adaptados às condições ambientais das aplicações?

    Sim. A maxon tem uma vasta experiência com as condições encontradas na indústria de semicondutores (por exemplo, vácuo, sala limpa). 

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Como podemos ajudá-lo?

Os nossos especialistas da indústria de semicondutores terão todo o gosto em ajudá-lo.