반도체 산업용 드라이브 시스템

디지털화의 원료

반도체 산업의 산업 설비는 1초 이하의 주기 시간으로 작동합니다. 그러므로 역동성과 정밀성이 성공의 결정적인 요소입니다. 당사는 웨이퍼 및 마이크로칩의 생산에서 최고의 성능을 발휘하도록 턴키 방식의 드라이브 시스템을 개발하고 생산합니다. 

맥슨의 드라이브 모듈

보다 더 높은 생산성을 위해: 칩 제조에 사용되는 로봇 장치

맥슨의 드라이브는 웨이퍼 생산부터 전공정 및 후공정, 그리고 픽앤플레이스(Pick & Place) 애플리케이션까지 사용됩니다. 여기서 맥슨 드라이브 시스템의 높은 전력 밀도와 신뢰성 및 낮은 관성 모멘트가 성공의 요인이고 또 상당히 낮은 주기 시간이 가능해집니다.  

매우 작은 폼 팩터에서 높은 전력 밀도

고효율성

낮은 자기 간섭

청정실 및 진공 애플리케이션을 위한 솔루션

탁월한 위치 제어 성능을 위한 진보된 제어장치

마이크로칩이 세상을 움직입니다

사물 인터넷, 무선 통신 및 인공 지능에 의해 반도체 산업에서 생산량을 계속 증가하고, 이에 반해 칩의 구조적 크기는 계속 작아집니다. 효율적인 대량 생산 공정에는 복잡한 장비와 장치가 필요합니다.

맥슨은 반도체 시장의 여러 애플리케이션에 사용되는 드라이브 장치를 매년 약 200,000개 생산하고 있습니다. 계속 증가하는 추세 

반도체 산업을 위한 맥슨의 드라이브 솔루션

마이크로 조립에서 빠르고 깨끗한 취급

정밀 위치 제어를 위한 마이크로 선형 드라이브

맥슨은 특히 반도체 분야의 고객을 위해 마이크로 선형 드라이브를 개발하여 생산하였습니다.  

 

ECX-SPEED 시리즈에 속하는 직경 8밀리미터의 BLDC 모터는 최고 120,000rpm의 빠른 속도에 최적화되어 있으며, 상당히 빠르고 저소음으로 작동합니다. 당사는 이 모터를 출력 전달율이 높은 맥슨의 GPX 유성 기어 및 회로가 내장된 3-채널 인코더 ENX 8 EASY를 하나의 케이스 내에 결합하였습니다. 스트로크는 5mm이고 분해능은 9μm입니다. 또한 이 장치에는 세라믹 스핀들이 장착되어 있어 수명이 상당히 깁니다. 

  • 이동 거리가 20 / 25 / 30 / 40 / 50mm인 특수 슬라이드 컨셉트
  • 스핀들의 피치: 0.4mm
  • 분해능 최대 8.9μm
  • 속도: 1 ~ 5mm/s
  • 단방향에서의 재현성: 0.22μm
  • 중량 > 36g
  • 크기: 50.3 x 11.5 x 10.5mm
  • 플렉스프린트 또는 테프론 케이블 공급 가능(플랫 벨트 또는 단일 끈)

프레임리스 다이렉트 드라이브: EC-i 275 Frameless High Torque

맥슨의 프레임리스 모터는 최소 용적에서 최적의 토크 밀도와 과부하 용량을 제공합니다. 내경은 고객의 사양에 따라 조절됩니다. 모터는 청정실 환경에서 작동할 수 있으며 에어 베어링 방식의 애플리케이션에 적합합니다. 

  • 외경: 275mm
  • 내경: 172mm
  • 공칭 토크: 17Nm
  • 정지 토크: 63Nm
  • 대표적인 애플리케이션: 케이블 부싱이 장착된 위치 제어/회전 인덱싱 테이블: 토크가 강하고/속도가 느리며 코깅 토크가 약한 다이렉트 드라이브

맥슨 ECX Flat

가성비가 매력적인 브러시리스 모터 시리즈는 최고의 토크 밀도에 최적화되어 있으며 전체 길이가 짧아 제한된 공간에 적합합니다.  

  • 온라인으로 구성할 수 있으며 11일 이내에 인도 가능
  • 새 권선 기술과 분할된 자석에 의해 더 강해진 출력
  • 내장형 속도 조절기 공급 가능(ESCON-C)
  • 내장된 유도형 회전 인코더 공급 가능(MILE)
  • 능동 냉각 장치용 임펠러(선택 사양)

샵으로

반도체 산업을 위한 맥슨의 드라이브

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네덜란드에 위치한, 전문화된 생산 공장을 둘러보시고 맥슨의 고정밀 메카트로닉 드라이브 시스템이 웨이퍼 리프팅, 에칭, 폴리싱, 래핑 및 픽앤플레이스와 같은 공정에 얼마나 성공적으로 사용되는지 알아보십시오.   

Corporate Blog

성공 스토리

맥슨의 드라이브 솔루션은 반도체 산업의 수많은 애플리케이션에서 정밀도, 청정실 적합성 및 크기에 부과된 높은 수준의 요구 사항에 부응합니다.
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진공 작업장에서

반도체 산업에서 청결성과 정밀성은 필요 불가결한 요소입니다. 스위스의 진공 전문업체인 VAT는 맥슨과 함께 웨이퍼용 드라이브 시스템을 개발했습니다.
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맥슨의 청정실

반도체 시스템의 제조

맥슨의 반도체 산업용 드라이브는의 사내 청정실 내에서 제조됩니다§. 개발할 때 긴 수명에 초점을 두었기 때문에 티타늄부터 기술 세라믹까지 최신 소재를 사용하였습니다.  

당사의 품질 표준

알렌 코들리 박사(Dr. Alain Codourey)

아시릴(Asyril) 사의 설립자

“관성 모멘트를 적게 하기 위해 모든 구성품을 섬세하고 가볍게 설계하였습니다. 선택한 델타 구성의 큰 장점은 맥슨의 모터가 운동학적 동작을 보장하지만 모터 자체는 움직이지 않는다는 점입니다. 그 대신 모터는 서포트 프레임에 고정되어 동작을 구조물에 직접 전달합니다. 

FAQ

  • 맥슨은 시스템 전체를 제작하고 공급할 수 있습니까?

    예. 여러분은 맥슨에서 직류 모터, 센서, 위치 제어 장치와 다축 제어장치 및 프레임리스 다이렉트 드라이브 솔루션과 같은 표준 솔루션을 즉시 사용할 수 있습니다. 그 외에도 당사는 반도체 산업용의 고객맞춤형 솔루션을 개발하고 생산하고 있습니다.  

  • 맥슨은 드라이브 시스템(장치 내에서 동작) 전체를 설계하고 생산할 때 지원할 수 있습니까?

    예, 맥슨은 다년간 축적한 경험 덕분에 전이 동작 전체를 설계할 때 지원할 수 있으며 비용이나 성능과 관련하여 장치를 최적화할 때 도움을 드립니다.  

  • 맥슨의 컨트롤러를 사용하면 어떤 장점이 있습니까?

    맥슨의 컨트롤러에는 코어리스 모터에 필요한 인덕턴스가 이미 내장되어 있습니다. 또한 EPOS 및 ESCON 소프트웨어에는 맥슨의 드라이브를 전자동으로 조절할 수 있는 장점이 있습니다. 따라서 이 드라이브는 컨트롤러에 가장 적합하게 조절되어 있습니다. 단순한 GUI 인터페이스 덕분에 측정과 정밀 조절을 모터에서 수행할 수 있습니다.   

  • 맥슨의 시스템은 애플리케이션의 환경 조건에 맞추어 조절할 수 있습니까?

    예, 맥슨은 반도체 산업에서 흔히 있는 조건(예: 진공, 청정실)에 대해 경험을 많이 축적하였습니다. 

연락처

어떻게 지원해드릴까요?

반도체 산업 부문의 전문가가 언제든지 지원해드립니다.