Antriebssysteme für die Halbleiterindustrie

Der Rohstoff der Digitalisierung.

Industrieanlagen der Halbleiterindustrie arbeiten mit Taktzeiten von einer Sekunde und weniger. Hohe Dynamik und Präzision sind daher erfolgsentscheidend. Wir entwickeln und produzieren schlüsselfertige Antriebssysteme für maximale Leistung in der Fertigung von Wafern und Mikrochips. 

Antriebsmodule

Für höhere Produktivität: Robotik in der Chipfertigung.

Antriebsmodule von maxon werden in Wafer-Produktion, Front-/Back-End bis zu Pick-and-Place-Anwendungen eingesetzt. Hier führt die hohe Leistungsdichte, die Zuverlässigkeit und das geringe Massenträgheitsmoment der maxon Antriebssysteme zum Erfolg und ermöglicht sehr tiefe Taktzeiten

Hohe Leistungsdichte in einem sehr kompakten Formfaktor

Hoher Wirkungsgrad

Geringe magnetische Störungen

Lösungen für Reinraum- und Vakuumanwendungen

Fortschrittliche Steuerung für hervorragende Positionierleistung

Mikrochips bewegen die Welt.

Das Internet of Things, drahtlose Kommunikation und künstliche Intelligenz sorgen dafür, dass Produktionszahlen in der Halbleiterindustrie jährlich steigen, während die Strukturgrößen der Chips immer kleiner werden. Für einen effizienten, hochvolumigen Herstellungsprozess sind komplexe Maschinen und Geräte erforderlich.

Jährlich produzieren wir rund 200.000 Einheiten an maxon Antriebstechnik für verschiedene Anwendungen im Halbleitermarkt. Tendenz steigend. 

Antriebslösungen für die Halbleiterindustrie

Schnelles und sauberes Handling in der Mikromontage.

Mikro-Linearantrieb für präzise Positionierung

maxon hat Mikro-Linearantriebe speziell für Halbleiter-Kunden entwickelt und produziert.  

 

Der BLDC-Motor aus der ECX-SPEED-Reihe mit 8 Millimeter Durchmesser ist optimiert für hohe Drehzahlen bis zu 120 000 min-1, extrem schnell und laufruhig. Wir kombinieren ihn mit dem maxon GPX-Planetengetriebe mit hoher Leistungsübertragung sowie dem 3-Kanal-Encoder ENX 8 EASY mit integrierter Schaltung in einem Gehäuse. Der Hub beträgt 5 mm mit einer Auflösung von 9 μm. Zudem sind die Einheiten mit Keramikspindeln ausgestattet, die eine hohe Lebensdauer gewährleisten. 

  • Sonderschlittenkonzept mit Verfahrwegen von 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • Spindelsteigung: 0,4 mm
  • Auflösung bis zu 8,9 μm
  • Geschwindigkeit: 1 bis 5 mm/s
  • Reproduzierbarkeit unidirektional: 0,22 μm
  • Gewicht > 36 g
  • Abmessungen: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Flexprint- oder Teflonkabel verfügbar (entweder Flachband oder Einzellitzen)

Frameless Direktantrieb: EC-i 275 Frameless High Torque

maxon Frameless-Motoren bieten ein Optimum an Drehmomentdichte bei minimalem Volumen sowie hohe Überlastbarkeit. Der Innendurchmesser lässt sich kundenspezifisch anpassen. Der Motor kann in Reinraumumgebung betrieben werden und ist für luftgelagerte Anwendungen geeignet. 

  • Äußerer Durchmesser: 275 mm
  • Innendurchmesser: 172 mm
  • Nenndrehmoment: 17 Nm
  • Stillstanddrehmoment: 63 Nm
  • Typische Anwendungen: Positionier-/Rundschalttisch mit Kabeldurchführung; Direktantrieb mit hohem Drehmoment/geringer Drehzahl und geringem Rastmoment

maxon ECX Flat

Die bürstenlose Motorenreihe mit attraktivem Preis-/Leistungsverhältnis ist optimiert auf höchste Drehmomentdichte und eignet sich dank kurzer Baulänge für begrenzte Platzverhältnisse.  

  • Online konfigurierbar und innerhalb von 11 Tagen lieferbar
  • Höhere Leistung durch neue Wicklungstechnologie und segmentierte Magnete
  • Integrierter Drehzahlregler verfügbar (ESCON-C)
  • Integrierter induktiver Drehgeber verfügbar (MILE)
  • Laufrad für aktive Kühlung (optional)

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Antriebe für die Halbleiterindustrie

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Erhalten Sie Einblicke in unseren spezialisierten Produktionsstandort in den Niederlanden und erfahren Sie, welche hochpräzisen mechatronische Antriebssysteme von maxon bei Prozessen wie Waferlifting, Ätzen, Polieren und Läppen sowie Pick-and-Place erfolgreich eingesetzt werden.   

Corporate Blog

Erfolgsstories

Antriebslösungen von maxon werden den hohen Anforderungen an Präzision, Reinraumtauglichkeit und Größe der Halbleiterindustrie in zahlreichen Anwendungen gerecht.
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Deltaroboter im Pocket-Format

Unterschiedliche Mikromontage-Aufgaben stellen heutzutage immer grössere Herausforderungen an die Antriebstechnik. Während Mikrokomponenten und –systeme stetig kleiner werden, bleibt die Entwicklung der Produktionssysteme in makroskopischen Dimensionen oftmals zurück. Eine Westschweizer Firma hat mit einer ganzen Produktfamilie von Deltarobotern den Markt revolutioniert. Starke maxon-Motoren sorgen für hochpräzise und dynamische Bewegungen.
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In der Vakuum-Werkstatt

In der Halbleiterindustrie sind Sauberkeit und Präzision unabdingbar. Der Schweizer Vakuumspezialist VAT hat deshalb gemeinsam mit maxon ein Antriebssystem für Wafer entwickelt.
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Reinraum

Herstellung von Halbleiter-Systemen

maxon Antriebe für die Halbleiterindustrie werden in unserem In-house Reinraum hergestellt§. Die Entwicklung ist auf eine lange Lebensdauer ausgerichtet, wobei High-End-Materialien von Titan bis zu technischer Keramik verwendet werden.  

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Dr. Alain Codourey

Gründer Asyrils

“Für ein geringes Massenträgheitsmoment wurden alle Komponenten filigran und gewichtssparend ausgeführt. Ein großer Vorteil der gewählten Delta-Konfiguration liegt darin, dass die maxon-Motoren zwar für die Bewegung der Kinematik sorgen, selbst jedoch nicht bewegt werden. Stattdessen sind diese am Stützrahmen befestigt und übertragen die Bewegung direkt an die Struktur.“ 

FAQs

  • Hat maxon die Möglichkeit, komplette Systeme zu bauen und zu liefern?

    Ja. Bei maxon haben Sie Zugriff auf sofort verfügbare Standardlösungen wie aus Gleichstrommotoren, Sensoren, Positions- und Mehrachssteuerungen sowie Frameless-Direktantriebslösungen. Darüber hinaus entwickeln und produzieren wir kundenspezifische Lösungen für die Halbleiterindustrie  

  • Kann maxon bei der Auslegung und Produktion ganzer Antriebssysteme (Bewegungen im Gerät) unterstützen?

    Ja. maxon ist dank langjähriger Erfahrung in der Lage, bei der Auslegung ganzer Translative-Bewegungen zu unterstützen und hilft, Geräte in Bezug auf Kosten oder Performance zu optimieren.  

  • Welche Vorteile bieten die Verwendung eines maxon Controller?

    Bei maxon Controllern ist die für eisenlosen Motoren erforderliche Induktivität, bereits integriert. Ausserdem bietet die EPOS und ESCON Software den Vorteil, dass maxon Antriebe voll automatisch getunt werden können. Damit ist der Antrieb bestmöglich auf den Controller abgestimmt. Das einfache GUI  ermöglicht es, Messungen und Fine-Tuning am Motor vorzunehmen.  

  • Können die Systeme von maxon auf die Umgebungsbedingungen der Anwendungen angepasst werden?

    Ja. maxon hat viel Erfahrung mit Bedingungen, die in der Halbleiterindustrie vorzufinden sind (z.B. Vakuum, Reinraum). 

Contact

Wie können wir Sie unterstützen?

Unsere Experten für die Halbleiterindustrie stehen Ihnen gerne zur Verfügung.