Sistemas motores para la industria de los semiconductores

La materia prima de la digitalización.

Los equipos industriales de la industria de los semiconductores funcionan con tiempos de ciclo de un segundo y menos. En consecuencia, un alto dinamismo y una gran precisión son determinantes para el éxito. Desarrollamos y producimos sistemas motores llave en mano para un rendimiento máximo en la fabricación de obleas y microchips. 

Módulos motores

Para una mayor productividad: la robótica en la fabricación de chips.

Los módulos motores de maxon se utilizan en la producción de obleas, front/back end y en aplicaciones de pick-and-place. Aquí, la alta densidad de potencia, la fiabilidad y el bajo momento de inercia de masa de los sistemas motores maxon llevan al éxito y permiten tiempos de ciclo muy reducidos.  

Alta densidad de potencia en un factor de forma muy compacto

Gran eficiencia

Baja emisión de perturbaciones magnéticas

Soluciones para aplicaciones de sala blanca y vacío

Control avanzado para un excelente posicionamiento

Los microchips mueven el mundo.

El Internet de las cosas, la comunicación inalámbrica y la inteligencia artificial hacen crecer cada año las cifras de producción de la industria de los semiconductores, mientras que los tamaños estructurales de los chips se vuelven cada vez más pequeños. Un proceso de fabricación eficiente y de gran volumen requiere máquinas y equipos complejos.

Anualmente producimos alrededor de 200 000 unidades de la tecnología motriz de maxon para diversas aplicaciones en el mercado de los semiconductores. Y la tendencia sigue al alza. 

Soluciones motrices para la industria de los semiconductores

Manipulación rápida y limpia en el micromontaje.

Micromotor lineal para posicionamiento preciso

maxon ha desarrollado y producido micromotores lineales especialmente para clientes de la industria de los semiconductores.  

 

El motor BLDC de la serie ECX-SPEED con 8 milímetros de diámetro está optimizado para altas velocidades de hasta 120 000 r/min y es sumamente rápido y silencioso. Lo combinamos con el reductor planetario maxon GPX con gran capacidad de transmisión de potencia y el encoder de 3 canales ENX 8 EASY con circuito integrado en una carcasa. La carrera es de 5 mm con una resolución de 9 μm. Además, las unidades están equipadas con husillos de cerámica que garantizan una larga vida útil. 

  • Concepto de carro especial con recorridos de desplazamiento de 20/25/30/40/50 mm
  • Paso de rosca del husillo: 0,4 mm
  • Resolución de hasta 8,9 μm
  • Velocidad: 1 a 5 mm/s
  • Reproducibilidad unidireccional: 0,22 μm
  • Peso > 36 g
  • Dimensiones: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Hay disponibles cables impresos flexibles o de teflón (cinta plana o hilos individuales)

Motor de transmisión directa sin bastidor: EC-i 275 frameless High Torque

Los motores sin bastidor de maxon ofrecen una densidad de par óptima con un volumen mínimo y una elevada capacidad de sobrecarga. El diámetro interior puede adaptarse a las necesidades del cliente. El motor puede funcionar en el entorno de sala blanca y es adecuado para aplicaciones con cojinetes neumáticos. 

  • Diámetro exterior: 275 mm
  • Diámetro interior: 172 mm
  • Par nominal: 17 Nm
  • Par de parada: 63 Nm
  • Aplicaciones típicas: mesa de posicionamiento/plato divisor con paso de cable; motor de transmisión directa con alto par/baja velocidad de giro y bajo par de retención

maxon ECX flat

La serie de motores brushless, con una atractiva relación calidad-precio, está optimizada para ofrecer la máxima densidad de par y es adecuada para condiciones de espacio limitado gracias a su longitud corta.  

  • Configurable online y lista para su envío en 11 días
  • Mayor potencia gracias a la nueva tecnología de bobinado y a los imanes segmentados
  • Regulador de velocidad integrado disponible (ESCON-C)
  • Encoder inductivo integrado disponible (MILE)
  • Ventilador para refrigeración activa (opcional)

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Motores para la industria de los semiconductores

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Infórmese acerca de nuestro centro de producción especializado en Países Bajos y descubra qué sistemas motores mecatrónicos de alta precisión de maxon se utilizan con éxito en procesos como elevación de obleas de silicio, decapado, pulido, así como lapeado y pick-and-place.   

Corporate Blog

Historias de éxito

Las soluciones motrices de maxon satisfacen los estrictos requisitos de precisión, aptitud para sala blanca y tamaño de la industria de semiconductores en numerosas aplicaciones.
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Robots Delta en tamaño de bolsillo

Hoy en día, los diferentes trabajos de micromontaje representan un desafío cada vez mayor para la tecnología motriz. Mientras que los microcomponentes y microsistemas van reduciendo su tamaño de manera constante, el desarrollo de sistemas de producción en dimensiones macroscópicas se queda a menudo atrás. Una empresa de Suiza Occidental ha revolucionado el mercado con una gama completa de productos. Los potentes motores maxon garantizan movimientos dinámicos de alta precisión.
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En el taller del vacío

En la industria de los semiconductores, la limpieza y la precisión son esenciales. Por ello, el especialista suizo en vacío VAT ha desarrollado junto con maxon un sistema motor para obleas de circuitos integrados.
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Sala blanca

Fabricación de sistemas de semiconductores

Los motores maxon para la industria de los semiconductores se fabrican en nuestra propia sala blanca. El desarrollo se orienta hacia una larga vida útil, para lo que se emplean materiales de alta calidad que van del titanio a la cerámica técnica.  

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Dr. Alain Codourey

Fundador de Asyrils

«Para lograr un bajo momento de inercia de la masa, todos los componentes se diseñaron con filigrana y poco peso. Una gran ventaja de la configuración Delta elegida es que, aunque los motores maxon son los responsables del movimiento de la cinemática, ellos mismos no se mueven, ya que están fijados a marcos de soporte y transmiten el movimiento directamente a la estructura». 

Preguntas frecuentes

  • ¿Tiene maxon la capacidad de construir y suministrar sistemas completos?

    Sí. En maxon, usted tiene acceso a soluciones estándar disponibles inmediatamente, como motores de corriente continua, sensores, controladores de posición y multieje, así como soluciones de transmisión directa sin bastidor. Además, desarrollamos y producimos soluciones a medida para la industria de los semiconductores. 

  • ¿Puede maxon prestar asistencia en el diseño y la producción de sistemas motores completos (movimientos en el dispositivo)?

    Sí. Gracias a muchos años de experiencia, maxon es capaz de ayudar en el diseño de movimientos de traslación completos y contribuye a optimizar dispositivos en términos de coste o rendimiento.  

  • ¿Qué ventajas ofrece la utilización de un controlador maxon?

    La inductancia requerida para los motores sin hierro ya está integrada en los controladores maxon. Además, el software EPOS y ESCON ofrece la ventaja de que los motores maxon pueden ajustarse de forma totalmente automática. De este modo, el motor está adaptado de forma óptima al controlador. La sencilla interfaz de usuario permite realizar mediciones y ajustes de precisión en el motor.  

  • ¿Pueden adaptarse los sistemas maxon a las condiciones ambientales de las aplicaciones?

    Sí. maxon tiene mucha experiencia con las condiciones que predominan en la industria de los semiconductores (p. ej., vacío, sala blanca). 

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Nuestros expertos en la industria de semiconductores están a su disposición.