Systèmes d’entraînement pour l’industrie des semi-conducteurs

La matière première de la numérisation.

Dans l’industrie des semi-conducteurs, les installations travaillent avec des cycles d'une seconde, voire moins. Il est donc crucial d'avoir une dynamique élevée et une grande précision. Nous développons et produisons des systèmes d’entraînement clés-en-main pour des performances maximales dans la fabrication de wafers et de micropuces. 

Modules d’entraînement

Pour une productivité élevée: la robotique dans la fabrication de puces.

Les modules d’entraînement maxon sont utilisés dans de nombreux domaines, de la production de wafers aux applications de type Pick-and-Place en passant les unités de fabrication initiale/finale. La haute densité de puissance, la fiabilité et le faible moment d’inertie de masse des systèmes d’entraînement maxon permettent d'avoir d'excellents résultats ainsi que de très faibles temps de cycle.  

Haute densité de puissance dans un facteur de forme très compact

Rendement élevé

Faibles perturbations magnétiques

Solutions pour applications en salle blanche et sous vide

Commande avancée pour d’excellentes performances de positionnement

Les micropuces font bouger le monde.

L'Internet des objets, la communication sans fil et l’intelligence artificielle font que les chiffres de production de l’industrie des semi-conducteurs augmentent chaque année tandis que la taille des puces ne cesse de diminuer. Des machines et dispositifs complexes sont nécessaires pour une production efficace de volumes importants.

Chaque année, nous produisons environ 200 000 unités de technique d’entraînement maxon destinées à différentes applications sur le marché des semi-conducteurs. Ce nombre ne cesse de croître. 

Solutions d’entraînement maxon pour l’industrie des semi-conducteurs

Une manipulation rapide et propre pour le micromontage.

Micro-entraînement linéaire pour un positionnement précis

maxon a développé et produit des micro-entraînements linéaires pour les clients du secteur des semi-conducteurs.  

 

Le moteur BLDC de la série ECX-SPEED d'un diamètre de 8 mm est optimisé pour des vitesses de rotation élevées allant jusqu’à 120 000 tr/min, il est extrêmement rapide et silencieux. Nous l'associons avec le réducteur planétaire GPX maxon caractérisé par sa transmission de puissance élevée ainsi qu'avec le codeur à 3 canaux ENX 8 EASY et son circuit intégré dans un boîtier. La course est de 5 mm avec une résolution de 9 μm. En outre, les unités sont équipées de broches en céramique garantissant une longue durée de vie. 

  • Concept de chariot spécifique avec des courses de 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • Pas de vis: 0,4 mm
  • Résolution jusqu’à 8,9 μm
  • Vitesse: 1 à 5 mm/s
  • Reproductibilité unidirectionnelle: 0,22 μm
  • Poids > 36 g
  • Dimensions: 50,3 x 11,5 x 10,5 mm
  • Câble Flexprint ou Teflon disponible (soit câble en nappe soit fils individuels)

Entraînement direct Frameless: EC-i 275 Frameless High Torque

 Les moteurs frameless de maxon offrent une densité de couple optimale pour un volume minimum et une possibilité de surcharge élevée. Le diamètre intérieur peut être adapté aux besoins des clients. Le moteur peut être utilisé dans un environnement salle blanche et convient aux applications avec palier à air. 

  • Diamètre extérieur: 275 mm
  • Diamètre intérieur: 172 mm
  • Couple nominal: 17 Nm
  • Couple à l’arrêt: 63 Nm
  • Applications typiques: table de positionnement/plateau à indexation avec passage de câble; entraînement direct à couple élevé/faible vitesse de rotation et faible couple de saillance

maxon ECX Flat

Avec son rapport qualité/prix attractif, la gamme de moteurs sans balais est optimisée pour une densité de couple maximale et convient, de par sa longueur de construction réduite, aux espaces limités.  

  • Configurable en ligne et livrable sous 11 jours
  • Performance élevée grâce à une nouvelle technologie de bobinage et des aimants segmentés
  • Régulateur de vitesse intégré disponible (ESCON-C)
  • Codeur inductif intégré disponible (MILE)
  • Roue motrice pour refroidissement actif (en option)

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Entraînements maxon pour l’industrie des semi-conducteurs

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Obtenez un aperçu de notre site de production spécialisé aux Pays-Bas et découvrez les systèmes d'entraînement mécatroniques ultra-précis de maxon utilisés avec succès dans des procédés comme le levage de plaquettes, la gravure, le polissage, le rodage et le Pick-and-Place.   

Corporate Blog

Réussites

Les solutions d’entraînement maxon répondent aux exigences élevées en matière de précision, de compatibilité salle blanche et de dimensions dans de nombreuses applications du secteur des semi-conducteurs.
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Pocket Delta_Asyril_pick&place_1maxon Story

Un robot delta au format de poche

La diversité des tâches de micromontage à réaliser au jour d'aujourd'hui représente pour les technologies d'entraînement un défi de plus en plus important. Alors que la taille des microcomposants et des microsystèmes ne cesse de diminuer, le développement de systèmes de production au niveau macroscopique est souvent négligé. Une société de Suisse Occidentale a révolutionné ce marché avec une gamme complète de produits, dans lesquels des moteurs puissants de maxon assurent des déplacements dynamiques et d'une extrême précision.
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Dans l’atelier du vide

La propreté et la précision sont essentielles dans l’industrie des semi-conducteurs. VAT, spécialiste suisse du vide, a donc mis au point un système d’entraînement destiné à l’usinage des wafers, en coopération avec maxon.
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Salle blanche

Fabrication de systèmes de semi-conducteurs

Les entraînements maxon pour l’industrie des semi-conducteurs sont fabriqués dans notre propre salle blanche. Le développement est axé sur la longévité de nos produits. Pour ce faire, nous utilisons des matériaux de haute qualité allant du titane à la céramique technique.  

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Dr. Alain Codourey

Founder of Asyrils

« La conception filigrane et légère est destinée à réduire le moment d'inertie de masse de tous les composants. La configuration delta choisie présente l'énorme avantage que les moteurs maxon assurent certes les mouvements du mécanisme cinématique, mais sans qu'ils se déplacent. Ils sont simplement fixés au cadre protecteur et transmettent le mouvement directement à la structure concernée.» 

FAQ

  • Est-ce que maxon a la possibilité de construire et de livrer des systèmes complets?

    Oui. Chez maxon, vous avez accès à des solutions standard disponibles immédiatement comme les moteurs à courant continu, les capteurs, les commandes de positionnement et les commandes multi-axes ainsi que les solutions d’entraînement direct Frameless. En outre, nous développons et produisons des solutions personnalisées pour l’industrie des semi-conducteurs. 

  • Est-ce que maxon peut assister la conception et la production de systèmes d’entraînement complets (mouvements dans l’appareil)?

    Oui, grâce à sa longue expérience, maxon est en mesure d'aider à la conception de mouvements de translation complets et participe à l’optimisation des appareils en termes de coûts et de performances.  

  • Quels sont les avantages liés à l'utilisation d'un contrôleur maxon?

    En ce qui concerne les contrôleurs maxon, l’inductance requise pour les moteurs sans fer est déjà intégrée. En outre, les logiciels EPOS et ESCON permettent de régler les entraînements maxon de manière entièrement automatique. L’entraînement est ainsi adapté au mieux au contrôleur. L’interface GUI simple permet de procéder à des mesures et à un réglage fin sur le moteur.  

  • Est-ce que les systèmes de maxon peuvent être adaptés aux conditions ambiantes des applications?

    Oui. maxon a une grande expérience des conditions que l’on rencontre dans l’industrie des semi-conducteurs (par ex. vide, salle blanche). 

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Nos experts en industrie des semi-conducteurs se tiennent à votre disposition.