用於半導體產業的驅動系統

數位化的原料

半導體產業中的工業設備循環時間以秒計算,或甚至更短。因此,動態靈活和精準運行就是成功的關鍵。我們致力於為晶圓和微晶片製程開發和製造性能最強大且開機即用的驅動系統。 

驅動模組

產能再提升: 晶片製程中的機器人

maxon 驅動模組被用於晶圓製造、前端/後端製程和撿放應用等過程中。在這些過程中,maxon 驅動系統的高功率密度、可靠性和低慣性矩可確保製程順暢無礙且循環時間極短。  

結構精實,功率密度高

高效率

低磁性干擾

無塵室和真空應用的解決方案

技術先進的控制器保證絕佳的定位性能

微晶片推動全世界

由於物聯網、無線通訊和人工智慧等技術的加入,半導體產業的產量連年持續成長;同時,晶片的結構尺寸也不斷地縮小。為了實現高效、高產量的製造過程,各種機器和設備也隨之愈來愈複雜。

maxon 每年為半導體市場上的各種應用生產 200,000 個驅動技術單元,而且至今數量不斷增加。 

半導體產業解決方案

快速潔淨的微組合過程

微型線性驅動模組精確定位

maxon 專為半導體客戶開發並製造微型線性驅動模組。  

 

ECX SPEED 系列的 8 公釐直徑 BLDC 馬達經過最佳調校,專為高達 120,000 rpm 的轉速所設計,極為快速且平穩。我們為這款馬達搭配可傳輸高功率的 maxon GPX 行星式減速機以及 3 通道編碼器 ENX 8 EASY 以及內建於機殼內的電路。每次衝程 5 mm,解析度 9 μm。此外,每個模組都配備陶瓷心軸,確保使用壽命長。 

  • 專用滑塊的移動行程為 20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • 心軸斜率:0.4 mm
  • 解析度最高 8.9 μm
  • 速度:1~5 mm/s
  • 單向可重現性:0.22 μm
  • 重量 > 36 g
  • 尺寸:50.3 x 11.5 x 10.5 mm
  • 可選擇 Flexprint 或鐵氟龍導線(扁平導線或單絞線)。

無框直接驅動模組: EC-i 275 Frameless High Torque

maxon 無框馬達體積極小,可提供最佳轉矩密度並具有高過載能力。內徑可依客戶具體需求調整。馬達可在無塵室環境中運行,且適合用於空氣軸承應用。 

  • 外徑:275 mm
  • 內徑:172 mm
  • 額定轉矩:17 Nm
  • 止轉轉矩:63 Nm
  • 典型應用:定位/分度盤含纜線通孔;高轉矩/低轉速和低頓轉轉矩的直接驅動模組

maxon ECX Flat

性價比優異的無刷馬達系列經過最佳化調整,可提供最高轉矩密度,短型結構設計非常適合用於空間有限的應用。  

  • 可線上配置,11 天內可出貨
  • 新繞組技術和分段式磁鐵進一步提高性能
  • 可內建速度閉環控制器(ESCON-C)
  • 可內建電感式旋轉編碼器(MILE)
  • 主動式冷卻葉輪(選項)

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半導體產業驅動模組

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認識我們位於荷蘭的專業生產據點,瞭解 maxon 的哪些高精密機電驅動系統成功用於晶圓升降、蝕刻、拋光研磨以及撿放等過程。   

Corporate Blog

成功故事

maxon 驅動解決方案能夠滿足半導體產業中各式各樣應用對於精確度、無塵室適用性和尺寸規格方面的嚴格要求。
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真空工作室

在半導體產業中,清潔度和高精度是不可或缺的要素。瑞士真空專家 VAT 因此與 maxon 共同合作開發了一套專門用於晶圓生產的驅動系統。
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袖珍型 Delta 並聯式機器人。

現今各式各樣的微裝配任務對驅動技術的要求越來越高。微型元件以及微型系統的尺寸越來越小,廣泛來看,製造系統的發展卻呈現落後狀態。藉由推出一系列Delta機器人,一個來自瑞士西部的公司顛覆了當今市場的情勢。而強勁的maxon馬達確保了高精準和高動態的動作。
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無塵室

半導體系統製造

maxon 在內部專用無塵室製作提供用於半導體產業的驅動模組。開發重點在於使用壽命長,並採用各種尖端材質,包括鈦金屬和技術陶瓷。  

我們的品質標準

Alain Codourey 博士

Asyril 創辨人

「為了降低慣性矩,所有元件的重量都盡可能減至最輕,且外型精細。所選用的三角排列優勢在於,maxon 馬達能夠產生運動,但本身卻不會移動。因為馬達固定於支架上,並且將動作直接傳輸到結構上。」 

常見問題

  • maxon 是否能夠製作並供應全套完整系統?

    可以。maxon 可立即提供現有的標準解決方案,例如包括直流馬達、感應器、位置和多軸控制器,以及無框直接驅動解決方案。此外,我們還可以針對半導體產業開發和製造客製化解決方案。  

  • maxon 是否能夠協助設計和製作全套驅動系統(設備內部運動)?

    可以。maxon 擁有累積多年的經驗,能夠輔助客戶設計整個平移運動,並在成本或性能方面協助優化。  

  • 使用 maxon 控制器有哪些好處?

    maxon 控制器中已整合有無鐵心馬達所需的電感效應。此外,還可以利用 EPOS 和 ESCON 軟體對 maxon 驅動模組進行全自動調諧。如此可以使驅動模組與控制器之間完美配合。圖形使用者介面非常易於操作,可用來對馬達進行各種量測和精調。  

  • 是否能夠根據實際應用的環境條件來調整 maxon 的系統?

    可以。maxon 對半導體產業的條件經驗豐富(例如真空環境、無塵室)。 

聯絡方式

我們能為您做些什麼?

我們的半導體產業專家很樂意為您服務。